CVD金刚石抛光前 CVD金刚石抛光后

CVD金刚石抛光前SEM图像 CVD金刚石抛光后SEM图像

抛光是利用硬质磨料的机械作用快速的去除上道工序残留的表面/亚表面损伤，以获得纳米级粗糙度的表面质量。选用金刚石作为磨粒，主要是利用硬质磨粒的划擦耕犁作用实现衬底表层材料的去除，快速去除上道工序残留的加工余量和降低衬底的表面粗糙度。

　　化合积电多晶金刚石、氮化铝等经过研磨、抛光，生长面表面粗糙度Ra lt; 1 nm，呈镜状光泽。企业拥有的研发能力，的自主创新能力，深厚的技术积累，促进企业实现技术攻关不断突破；并拥有一大批世界设备，为高品质产品保驾护航。